10 先端産業分野における洗浄技術　Cleaning Technologies in Various Leading Industries G-17 監修：角田光雄（文化女子大学名誉教授）　　　　　　　　　　　　編集：日本産業洗浄協議会 B5 判 305 頁 68,250 円(本体65,000 円+税)　〔個人購入の場合は、代金引換またはクレジットカードでのお支払いとなります。〕 会員価格 20％引き（送料無料） 　　あらゆる産業の基盤である洗浄技術を、基礎から応用まで詳述。 　　次世代半導体や、液晶、自動車部品の洗浄など、先端産業分野における洗浄技術を豊富に紹介し、洗浄技術に密接に関わる環境対応問題や法規制についても言及。洗浄技術の決定版。 ../image/hon-sentan.jpg ＜目次＞ 総論 ―洗浄と表面・界面― 〔第１編 物理的洗浄技術〕 　第１章 超音波応用技術　第２章 蒸気と水の混合噴流による洗浄技術　第３章 マイクロアイスジェットによる精密洗浄 ほか 〔第２編 洗浄剤〕 　第１章 産業用洗浄剤の現状　第２章 機能水の洗浄分野への応用　第３章 アルカリ電解水の洗浄分野への応用　第４章 次世代半導体製造に対応した電子工業用薬品と機能性薬品 ほか 〔第３編 先端産業分野における洗浄技術〕 　第１章 次世代半導体製造における洗浄技術　第２章 化合物半導体の洗浄技術　第３章 実装における洗浄技術　第４章 液晶用基板の洗浄技術　第５章 EUV 露光における光学素子の洗浄技術　第６章 自動車部品の洗浄技術　 第７章 マイクロバブルを用いた環境配慮型洗浄技術 〔第４編 洗浄評価技術―いろいろな洗浄評価法―〕 〔第５編 洗浄技術から見た環境問題―モノづくり現場における国際的な化学物質管理―〕 〔第６篇 洗浄工程における法規制〕