産業洗浄における洗浄評価の役割と留意点
Talking-points of Evaluation Technique on Industrial Cleaning
日本産業洗浄協議会 シニアアドバイザー
平塚 豊 Hiratsuka Yutaka
精密、微細な加工や処理で欠陥の原因となる種々の汚れを除去する洗浄が、目的を達することができたかを確認する手段が洗浄評価である。許容される残存汚れの量を実作業から明らかにし、その要求清浄度が実現できているかを証明する役割がある。種々の洗浄要素の汚れ除去能力の評価データから、最適洗浄プロセスを構築するのにも役立つ。汚れの種類や残存量の程度にあった分析方法が種々用意されているが、適用上の留意点を指摘した。また製品の進歩に遅れないようトレンドを読み、必要となる分析技術の研究開発が要望される。