- 酸化性物質除去触媒
「オルデトックス」
- オルガノ株式会社
- 最先端半導体製造プロセスに対応する超純水製造技術として、
超純水中に含まれる酸化性物質を1μg/L以下のレベルまで高効率
に除去することが可能な触媒「オルデトックス」を開発しました。
本触媒は独自開発したモノリス状多孔質イオン交換体に、触媒作用
をもつ金属を担持させているため、従来の触媒と比較して10倍以上の
高速処理を達成しています。また、不純物の溶出および微粒子の発生
を極限まで抑制させているため、半導体洗浄装置などのユースポイント
直近に設置することが可能となっています。本触媒を用い洗浄水として
多用される超純水中から酸化性物質を除去することにより、半導体製造
プロセスの歩留まり改善、半導体微細加工への適用が期待できます。
